日本KASHIYAMA柏山株式會(huì)社——干式真空泵
KASHIYAMA工業(yè)株式會(huì)社,多年來致力于真空技術(shù)的研究,不斷開發(fā)進(jìn)取,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域和高科技行業(yè)中擁有極高的信譽(yù)。尤其在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,獲得了客戶的高度評(píng)價(jià)與信賴。KASHIYAMA柏山工業(yè)SDT600干式真空泵系列已經(jīng)成為半導(dǎo)體制造業(yè)與液晶顯示制造行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。并,除此之外,魯式及排氣組合式真空泵設(shè)備則在其他領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
型號(hào)*1 | SDX600 | SDT600 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000 *5 | SDH6000 *5 | |
*大抽速 [L/min] *2 |
10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |||
極限壓力 [Pa] *2 |
0.5 | 0.3 | 0.5 | ||||||
氮?dú)?/span>流量[SLM] | 0 至 80 | 0 到 120 | |||||||
冷卻水流量[L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 | |
消耗功率 [kW] *3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 | |
外形尺寸 [mm] *4 | L。 | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | |||
W. | 第285章 | 第285章 | 380 | 第420章 | 515 | ||||
H。 | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 |
*1) SDX 節(jié)能/赫什工藝兼容機(jī)、SDT/SDH 耐工藝/超嚴(yán)酷工藝兼容機(jī)
*2)不使用 N2 吹掃時(shí)的值。*3) *終運(yùn)行期間的大約功耗。*4) 封裝尺寸。如需詳細(xì)尺寸,請(qǐng)索取外部圖紙。
*5) 我們擁有一系列具有優(yōu)異加工耐受性的產(chǎn)品,因此請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售代表。
規(guī)格和型號(hào)名稱如有變更,恕不另行通知。*請(qǐng)聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。
代 理日 本各類工業(yè)品:日本SAN-EI TECH三英,MUSASHI武藏,Nordson諾信EFD,IEI巖下,aicohsha愛工舍ACM(特殊立式攪拌機(jī)),KLEENTEK可濾特,ASAHIKASEI旭化成,TAGAWA十川,YODOGAWA淀川電機(jī),MALCOM馬康,USHIO牛尾,SHOWA DENKI昭和電機(jī),TSUBAKI椿本,morite,KIKUSUI菊水,HOZAN寶山,TRUSCO中山,cedar思達(dá),MEISEI邁澤(電熱剝線器)、SANKO山高(金屬探測(cè)器、膜厚儀)、TAKASAGO高砂制作所 (直流電源)MITSUBISHI三菱 (UPS電源、PLC自動(dòng)化)
CCS光源(視覺光源、檢查光源)、Tsubosaka壺坂(燈箱、光度計(jì)、輝度箱、光源)、POLARION普拉瑞(探照燈、HID強(qiáng)光燈、檢查燈)AITEC艾泰克(檢查光源)、Iwasaki巖崎(金鹵燈、HID燈、UV燈)
OTSUKA大塚電子(光學(xué)膜厚儀、相位差測(cè)試儀、粒度儀)、LUCEO魯西歐(表面應(yīng)力儀、偏光應(yīng)力儀)
KYOWA共和(應(yīng)變片、壓力傳感器)、ONOSOKKI小野測(cè)器(傳感器、檢測(cè)儀)
CKD(氣動(dòng)元件、電缸)、FUJIKURA藤倉(cāng)(單向閥、泄壓閥、摩擦氣缸)
TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)(粘度計(jì))、ASKER高分子計(jì)器(橡膠硬度計(jì)、試驗(yàn)機(jī))SK新瀉精機(jī)(水平尺、水平測(cè)量?jī)x器)SKSATO佐藤(溫度計(jì)、溫度記錄儀)、上海一恒儀器 (恒溫箱、烘箱、)、TECLOCK得樂(硬度計(jì)、千分表)、AND愛安得(電子天平、工業(yè)天平)、KEM京都電子(水分儀、自動(dòng)電位滴定儀)
TOHNICHI東日(扭力扳手、螺絲刀)KANON中村(電動(dòng)螺絲刀、扭力工具)
Heishin兵神(泵、點(diǎn)膠機(jī))、KOKUSAN科庫(kù)森離心機(jī)、YUASA湯淺(柔性屏彎折試驗(yàn)機(jī))、
SIMCO思美高,SSD西西蒂,DIT東日技研,KASUGA春日,TRINC高柳(靜電儀器設(shè)備)、Kanetec強(qiáng) 力(磁力設(shè)備、高斯計(jì))
ASONE亞速旺(實(shí)驗(yàn)室儀器、車間穿戴裝備)、SAKURAI櫻井(無(wú)塵紙、熱敏紙)、Nitto-Kohki日東工器(快速接頭)、NIRECO 尼利可(電動(dòng)執(zhí)行器、傳感器)
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