SIMCO-ION思美高設(shè)備優(yōu)點：靜電吸附是用于臨時吸附材料的一種特殊工藝，ECM系列靜電吸附系統(tǒng)可以根據(jù)客戶需要提供高達(dá)60KV靜電電壓用于各種場合。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用高頻開關(guān)技術(shù)提供三大優(yōu)勢。首先，能夠根據(jù)所設(shè)定的電壓實現(xiàn)穩(wěn)定的電壓輸出；其次，輸入電壓的波動將不會影響輸出電壓波動；*后，周邊環(huán)境的變化，負(fù)載的變化，特別是在*大臨界負(fù)載變化將不會影響輸出電壓的穩(wěn)定性。ECM靜電吸附系統(tǒng)采用防電弧技術(shù)，很重要的優(yōu)點可以保證人身和設(shè)備使用**,并提高設(shè)備的穩(wěn)定性，延長使用壽命。對于靜電吸附系統(tǒng)，靜電產(chǎn)生電極通常被連接到高達(dá)幾萬伏的電壓，靜電產(chǎn)生電極周圍會發(fā)生電暈現(xiàn)象，空氣被電離，在電場的作用下，電荷移動至目標(biāo)物體上。此時目標(biāo)物體所帶有電荷的極性依賴于所產(chǎn)生高壓相對于地極的極性。

5635 型 Aerobar MP 離子發(fā)生器是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品，專為需要 100 nm 或更低微粒管理的領(lǐng)域（例如先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝）的靜電消除而開發(fā)。

長處

■單晶硅電極在全球擁有****的采用記錄，具有超低顆粒特性，避免
了電極材料造成的金屬污染風(fēng)險 ■獨特的MP（脈沖調(diào)制）方法提供高靜電消除性能
，可有效地將離子輸送到目標(biāo) ■ 低電位擺動特性，即使在 100 mm 的距離下也能使用，離子平衡對棒材長度幾乎沒有偏差 ■ 智能控制電路持續(xù)自動管理
離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
■ 可互換電極，可拆卸1/4圈，有助于

■MP系統(tǒng)具有非常小的電位擺幅，簡化了設(shè)置，小電位擺幅也有效地將長期離子平衡保持在
控制標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)。 ■根據(jù)半導(dǎo)體前端工藝的EFEM設(shè)置長度條
。 ■ 緊湊型設(shè)計
，內(nèi)置24V直流驅(qū)動控制器 ■ 全球提供高水平的支持網(wǎng)絡(luò)

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