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產(chǎn)品名稱:
杉本供應旋涂機日本Mikasa半導體設備
產(chǎn)品型號:
MS-B200
產(chǎn)品展商:
MIKASA米卡薩光刻機
折扣價格:
0.00 元
關注指數(shù):64
產(chǎn)品文檔:
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為半導體制造工序提供支持的Mikasa備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導體制造前段工序所需要的裝置后，提供一站式服務。另外，為旋轉涂膜儀的所有機型準備了替代用機，可在發(fā)生故障時盡早應對，且在銷售后提供快捷周到的售后服務。針對研究過程中所發(fā)生的一系列問題，也可在現(xiàn)場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個工序出現(xiàn)了問題、應如何改進等等，從而得出解決建議。Mikasa 作為一個可在半導體方面進行共同商談的咨詢顧問不僅銷售設備，而是為客戶半導體制造的整體工藝流程提供支持。
杉本供應旋涂機日本Mikasa半導體設備
的詳細介紹
蘇州市新杉本電子科技有限公司/代理 直供 日本各類工業(yè)品/聯(lián)系人陳小姐13451564111
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MS-B100
MS-B150
MS-B200
MS-B300
MS-B200密閉型
MS-B300密閉型
MA-20
MA-10B
MA-60F
M-2LF
M-1S
AD-1200
AD-3000
ED-1200
ED-3000
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*大板尺寸
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φ4英寸晶圓或75×75mm基板
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聯(lián)鎖
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真空
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標準設備
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轉數(shù) (rpm)
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20 到 8,000
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蓋
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選項
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旋轉精度
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±1 rpm（負載下）
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滴管
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不可安裝
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馬達
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交流伺服電機
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蓋
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丙烯酸纖維
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工作真空壓力
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-0.08 至 -0.1 兆帕
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旋轉室直徑
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φ220mm
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電源
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AC100-240V 5A
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步進模式數(shù)
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100 步 x 10 模式
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外形尺寸（mm）
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259W×246H×341D
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時間設置
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999.9 秒
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重量
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約10公斤
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