概要 特長 晶圓清洗更精細(xì)，損傷小 ■ 超聲波疊加在石英振動(dòng)體上，對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗 。零件振動(dòng)，其加速度會(huì)**表面的污垢。 ■ 實(shí)現(xiàn)對半導(dǎo)體晶片的損傷少的清潔清洗 與 化學(xué)品接觸的部分使用石英，與使用橡膠材料的設(shè)備相比，沒有橡膠溶出或磨損，可以進(jìn)行清潔清洗。 ■ 由于具有振蕩器冷卻功能，通過氣體（氮?dú)獾龋├鋮s振蕩器，可以穩(wěn)定地連續(xù)運(yùn)行而不會(huì)發(fā)生頻率波動(dòng)。 此外，通過冷卻，溫度不會(huì)突然變化，使用壽命長。 用途 去除抗蝕劑殘留物 磨邊和灰化后去除聚合物 柵電極清洗 CMP 后清洗