適用于多種不同的產(chǎn)業(yè)應用。可實現(xiàn)大范圍控制從10SCCM至1000SLM。此款MFC包含多種不同通訊方式（數(shù)字式/模擬式， CC-Link®, PROFIBUS?, 以及 EtherCAT®），高精度（± 1.0% S.P. *1），快速響應。同時這款MFC支持多氣體/多量程功能，有效減少客戶成本。
*1包括SEC-N177R
型號
選擇通訊方式
選擇供電方式
SEC-N102 系列
數(shù)字式信號傳輸
?RS485 F-NET協(xié)議
模擬式通訊
?0～5VDC
HORIBA可提供PE系列供應電源
SEC-N104 系列
DeviceNet? 通訊
符合ODVA標準
SEC-N105 系列
CC-Link®通訊
?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA
符合 CC-Link®標準 24VDC(13 ~ 32VDC)
SEC-N106系列
PROFIBUS? 通訊方式
符合PROFIBUS? 標準 24VDC(13 to 32VDC)
SEC-N107系列
EtherCAT® 通訊方式
符合EtherCAT®標準 24VDC ± 4V
(*1)包括SEC-N17XR
多氣體，多量程的功能可使用軟件方便的更改MFC的氣體或滿量程流量。
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