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產(chǎn)品資料
產(chǎn)品[

膜厚量測儀 FE-300[產(chǎn)品打印頁面]

]資料
如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以 產(chǎn)品名稱: 膜厚量測儀 FE-300
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品展商: 其它品牌
折扣價(jià)格: 0.00 元
關(guān)注指數(shù):218
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

膜厚量測儀 FE-300

膜厚量測儀 FE-300

   的詳細(xì)介紹

產(chǎn)品信息

特 長

薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析

高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜量測儀

藉由優(yōu)良反射率光譜分析膜厚

完整繼承FE-3000優(yōu)異機(jī)種90%的強(qiáng)大功能

無復(fù)雜設(shè)定,操作簡單,短時(shí)間內(nèi)即可上手

線性*小平方法解析光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))

測量項(xiàng)目

  • 優(yōu)良反射率測量

  • 膜厚解析(10層)

  • 光學(xué)常數(shù)解析(n:折射率、k:消光系數(shù))

產(chǎn)品規(guī)格

樣品尺寸

*大8寸晶圓(厚度5mm)

測量時(shí)間

0.1s ~ 10s以內(nèi)

量測口徑

約φ3mm

通訊界面

USB

尺寸重量

280(W)× 570(D)×350(H)mm,約24kg

軟體功能

標(biāo)準(zhǔn)功能

波峰波谷解析、FFT解析、*適化法解析、*小二乘法解析

選配功能

材料分析軟件、薄膜模型解析、標(biāo)準(zhǔn)片解析

※1 請于本公公司聯(lián)系聯(lián)系我們
※2 對比VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品(100nm SiO2/Si),范圍值同保證書所記載
※3 測量VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品(100nm SiO2/Si)同一點(diǎn)位時(shí)之重復(fù)再現(xiàn)性。(擴(kuò)充系數(shù)2.1)

應(yīng)用范圍

半導(dǎo)體晶圓膜(光阻、SOI、SiO2等)
光學(xué)薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)

測量范例

  • PET基板上的DLC膜

  • item_0005FE-300_sub001.gif
  • Si基板上的SiNx

    item_0005FE-300_sub002.gif

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