產(chǎn)品信息
特 長
薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析
高性能的低價(jià)光學(xué)薄膜量測儀
藉由優(yōu)良反射率光譜分析膜厚
完整繼承FE-3000優(yōu)異機(jī)種90%的強(qiáng)大功能
無復(fù)雜設(shè)定,操作簡單,短時(shí)間內(nèi)即可上手
線性*小平方法解析光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))
測量項(xiàng)目
產(chǎn)品規(guī)格
樣品尺寸
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*大8寸晶圓(厚度5mm)
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測量時(shí)間
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0.1s ~ 10s以內(nèi)
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量測口徑
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約φ3mm
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通訊界面
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USB
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尺寸重量
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280(W)× 570(D)×350(H)mm,約24kg
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軟體功能
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標(biāo)準(zhǔn)功能
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波峰波谷解析、FFT解析、*適化法解析、*小二乘法解析
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選配功能
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材料分析軟件、薄膜模型解析、標(biāo)準(zhǔn)片解析
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※1 請于本公公司聯(lián)系聯(lián)系我們
※2 對比VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品(100nm SiO2/Si),范圍值同保證書所記載
※3 測量VLSI標(biāo)準(zhǔn)樣品(100nm SiO2/Si)同一點(diǎn)位時(shí)之重復(fù)再現(xiàn)性。(擴(kuò)充系數(shù)2.1)
應(yīng)用范圍
半導(dǎo)體晶圓膜(光阻、SOI、SiO2等)
光學(xué)薄膜(OC膜、AR膜、ITO、IZO膜等)
測量范例